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        1. 深圳市中圖儀器股份有限公司

          PRODUCT DISPLAY

          當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測(cè)量?jī)x>>臺(tái)階儀>> NS200納米級(jí)高精度臺(tái)階儀

          納米級(jí)高精度臺(tái)階儀

          參  考  價(jià): 600000

          訂  貨  量: ≥1 臺(tái)

          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

          產(chǎn)品型號(hào):NS200

          品       牌:CHOTEST/中圖儀器

          廠商性質(zhì):生產(chǎn)商

          所  在  地:深圳市

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          更新時(shí)間:2024-07-18 10:24:17瀏覽次數(shù):428次

          聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 化工儀器網(wǎng)
          產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
          應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子,電氣,綜合
          中圖儀器NS系列納米級(jí)高精度臺(tái)階儀用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量,是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器。儀器采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC,集成超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。

          中圖儀器NS系列納米級(jí)高精度臺(tái)階儀用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量,是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器。儀器采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC,集成超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。

          納米級(jí)高精度臺(tái)階儀


          NS系列納米級(jí)高精度臺(tái)階儀測(cè)量時(shí)通過使用2μm半徑的金剛石針尖在超精密位移臺(tái)移動(dòng)樣品時(shí)掃描其表面,測(cè)針的垂直位移距離被轉(zhuǎn)換為與特征尺寸相匹配的電信號(hào)并最終轉(zhuǎn)換為數(shù)字點(diǎn)云信號(hào),數(shù)據(jù)點(diǎn)云信號(hào)在分析軟件中呈現(xiàn)并使用不同的分析工具來(lái)獲取相應(yīng)的臺(tái)階高或粗糙度等有關(guān)表面質(zhì)量的數(shù)據(jù)。


          產(chǎn)品功能

          1.參數(shù)測(cè)量功能

          1)臺(tái)階高度:能夠測(cè)量納米到330μm甚至1000μm的臺(tái)階高度,可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料;

          2)粗糙度與波紋度:能夠測(cè)量樣品的粗糙度和波紋度,分析軟件通過計(jì)算掃描出的微觀輪廓曲線,可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項(xiàng)參數(shù);

          3)翹曲與形狀:能夠測(cè)量樣品表面的2D形狀或翹曲,如在半導(dǎo)體晶圓制造過程中,因多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化,或者類似透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。

          2.數(shù)采與分析系統(tǒng)

          1)自定義測(cè)量模式:支持用戶以自定義輸入坐標(biāo)位置或相對(duì)位移量的方式來(lái)設(shè)定掃描路徑的測(cè)量模式;

          2)導(dǎo)航圖智能測(cè)量模式:支持用戶結(jié)合導(dǎo)航圖、標(biāo)定數(shù)據(jù)、即時(shí)圖像以智能化生成移動(dòng)命令方式來(lái)實(shí)現(xiàn)掃描的測(cè)量模式。

          3)SPC統(tǒng)計(jì)分析:支持對(duì)不同種類被測(cè)件進(jìn)行多種指標(biāo)參數(shù)的分析,針對(duì)批量樣品的測(cè)量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)的變化趨勢(shì)。

          3.光學(xué)導(dǎo)航功能

          配備了500W像素的彩色相機(jī),可實(shí)時(shí)將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸?shù)杰浖酗@示,進(jìn)行即時(shí)的高精度定位測(cè)量。

          4.樣品空間姿態(tài)調(diào)節(jié)功能

          配備了精密XY位移臺(tái)、360°電動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)和電動(dòng)升降Z軸,可對(duì)樣品的XYZ、角度等空間姿態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié),提高測(cè)量精度及效率。

          納米級(jí)高精度臺(tái)階儀


          NS系列臺(tái)階儀的成像系統(tǒng)500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機(jī),即時(shí)進(jìn)行高精度定位測(cè)量??梢詫⑻结樀男蚊矆D像傳輸?shù)娇刂齐娔X上,使得測(cè)量更加直觀。對(duì)測(cè)量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應(yīng)面廣,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測(cè)量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測(cè)量中使用非常廣泛的微納樣品測(cè)量手段。


          性能特點(diǎn)

          1.亞埃級(jí)位移傳感器

          具有亞埃級(jí)分辨率,結(jié)合單拱龍門式設(shè)計(jì)降低環(huán)境噪聲干擾,確保儀器具有良好的測(cè)量精度及重復(fù)性;

          2.超微力恒力傳感器

          1-50mg可調(diào),以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)樣品表面,采用超低慣量設(shè)計(jì)和微小電磁力控制,實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸損傷的接觸式測(cè)量;

          3.超平掃描平臺(tái)

          系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌,杜絕運(yùn)動(dòng)中的細(xì)微抖動(dòng),真實(shí)地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀形貌。


          典型應(yīng)用

          納米級(jí)高精度臺(tái)階儀


          部分技術(shù)參數(shù)

          型號(hào)NS200
          測(cè)量技術(shù)探針式表面輪廓測(cè)量技術(shù)
          探針傳感器超低慣量,LVDC傳感器
          平臺(tái)移動(dòng)范圍X/Y電動(dòng)X/Y(150mm*150mm)(可手動(dòng)校平)
          樣品R-θ載物臺(tái)電動(dòng),360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)
          單次掃描長(zhǎng)度55mm
          樣品厚度
          50mm
          載物臺(tái)晶圓尺寸150mm(6吋),200mm(8吋)
          尺寸(L×W×H)mm640*626*534
          重量40kg
          儀器電源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

          使用環(huán)境

          相對(duì)濕度:濕度 (無(wú)凝結(jié))30-40% RH

          溫度:16-25℃ (每小時(shí)溫度變化小于2℃)

          地面振動(dòng):6.35μm/s(1-100Hz)

          音頻噪音:≤80dB

          空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動(dòng))

          懇請(qǐng)注意:因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請(qǐng)諒解。

          如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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